[实用新型]一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构

摘要

本实用新型公开了一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，包括底座和转动块，底座的顶部四周均固定安装多个导向柱，转动块中部开有连接孔，连接孔的内壁底部固定套接有摩擦垫，摩擦垫的内壁转动套接在导向柱上，转动块的圆周外壁顶部固定安装有压板，压板底部的转动块外壁上固定安装有挤压块，连接孔的顶部内壁和导向柱的顶部间安装有压紧机构。先转动转动块，使得压板和挤压块朝向底座外壁，便于将板件放置在底座中部，然后再转动转动块，使得压板和挤压块转向板件，挤压块逐渐挤压板件四周侧壁，对板件进行水平限位，压板转至板件边缘顶部，并且压紧机构下压转动块，从而使得压板压紧在板件顶部，从而对板件快速压紧限位，便于使用。