[实用新型]一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器

摘要

本实用新型公开了一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，包括壳体，壳体内右侧壁上安装有石英悬臂梁，石英悬臂梁上靠近壳体右侧壁位置安装有第二SAW谐振器，石英悬臂梁上远离与壳体连接的一端安装有第一SAW谐振器，所述壳体内石英悬臂梁下方的右侧壁上安装有电阻柱，电阻柱末端安装有导电块，所述石英悬臂梁前端下方设有线圈，线圈通过连接杆与第一SAW谐振器连接，线圈内设有衔铁。本实用新型提供一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，结构设置巧妙，且布局合理，通过设置线圈与形变位置的SAW谐振器相连，在线圈内设置衔铁，构成差动式电感传感器，利用其差动距离结合SAW谐振器的反馈数据进行分析，可以得到更精确的加速度数据。