[实用新型]一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备

摘要

一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，包括激光发射器、透镜单元、MEMS微振镜、反射单元、反馈结构和核心控制器，所述激光发射器发出点激光投射到透镜单元上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上，生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被反射单元反射至所述反馈结构，反馈结构传输MEMS微振镜位置信息至核心控制器，核心控制器实时控制激光发射器和MEMS微振镜，投射目标图案。本方案通过设置反射单元改变光路，将反馈结构与MEMS微振镜集成在一起，从而缩小设备体积、降低装配难度，具有精度高、装配难度小、一体化程度高及稳定性好的优点。