[实用新型]一种晶圆抛光垫及晶圆抛光装置有效
| 申请号： | 201922292239.1 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN211193450U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 李洪亮;沈思情;张俊宝;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/16;B24B37/24;B24B37/34;B24B47/12 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 201617 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆抛光垫，所述晶圆抛光垫包括转动部件、抛光部件与夹持部件；所述夹持部件将抛光部件固定于转动部件，使转动部件与抛光部件同轴转动；所述抛光部件包括用于设置夹持部件的凹槽，凹槽的深度大于夹持部件的厚度。本实用新型通过夹持部件将抛光部件固定于转动部件，提高了固定效果，能够使抛光部件随转动部件同轴转动。从而保证了高转速下抛光部件对晶圆的抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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