[实用新型]一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具

摘要

本实用新型公开一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板上开设有排气切口，且下载板两侧对称开设有气囊安装槽，气囊安装槽内圈处设置有支撑台。本实用新型电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂具完成对位安装，由扭簧回弹产生锁紧力，不需要借助外力做特别对位动作，减少刮擦伤害，晶圆挂具安装卸载时由气动驱动弹簧快速安装卸载，扭簧回弹产生锁紧力，安装卸载晶圆只有直线运动而非旋转式运动，可以减少摩擦，减少晶圆刮伤、减少静电产生，解决现有技术中晶圆电镀时在挂具上装卸时容易造成晶圆的损坏，从而导致产品的不良率提高技术问题。