[实用新型]一种溅射靶材基板加工装置有效
| 申请号： | 201922307023.8 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211470566U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 邢伟亮 | 申请（专利权）人： | 中诺新材（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | B66C11/00 | 分类号： | B66C11/00;B66F7/10;C23C14/34;F27B14/06;F27D27/00 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 张玮玮 |
| 地址： | 100089 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种溅射靶材基板加工装置，包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置。本装置中熔铝电阻炉装置开取方便，搅拌装置实现金属液的自动搅拌，解放操作人员，避免人工操作造成烫伤的后果，因此便于流水线作业，从而有效提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 靶材基板 加工 装置 | ||
【主权项】：
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