[实用新型]一种臭氧气源供应系统

摘要

本实用新型公开了一种臭氧气源供应系统，涉及氧化硅薄膜的制备，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一端管路接通储存瓶，另一端管路接通主管路，V5阀设置V2阀、V3阀之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室，所述尾气处理系统通过V6阀与主管路接通，为了对主管路进行高压保护。本实用新型工艺时间短、薄膜质量高、有效提升单机产能，提升电池效率。臭氧气体通源管路直接和水蒸汽结合在一条管路上，可携带供应也可单独供应气源控制方便。