[实用新型]一种晶硅炉保温装置及晶硅炉有效
申请号: | 201922310294.9 | 申请日: | 2019-12-20 |
公开(公告)号: | CN211199476U | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 刘军波;刘彥彪;牛照伦 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 顾友 |
地址: | 055550 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶硅炉保温装置及晶硅炉,所述保温装置包括:石墨筒、保温层、加固层、保护层;所述保温层包围在所述石墨筒的外侧,包括石墨软毡;所述加固层设置在所述保温层外侧,用于固定所述保温层;所述保护层包围在设置有所述加固层的所述保温层的外侧;所述石墨筒与所述保护层形成沿所述石墨筒轴向两侧开口的夹层空间,所述夹层空间的两侧开口均采用密封层密封。本实用新型在保证保温装置的保温性能的同时,提供了一种便于拆装的保温装置,并且密封性较好,防止其中的保温材料氧化。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶硅炉 保温 装置 | ||
【主权项】:
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