[实用新型]一种新型晶体生长设备有效
| 申请号： | 201922337022.8 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211848202U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 杨金海;徐永根 | 申请（专利权）人： | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种新型晶体生长设备包括：由下往上依次设置的籽晶部件、籽晶原点部件、上炉体、隔离阀、下炉体和下腔体结构，籽晶部件和籽晶原点部件皆设于上炉体的上部，隔离阀设于下炉体的上部，下炉体设于下腔体结构包括：工作台，其四个边角处皆设有垂直于地面的支撑脚；腔体结构，可拆卸的设于工作台上且腔体结构的容纳腔设于工作台的下方，所述容纳腔的上部开口且开口面与工作台齐平，所述容纳腔包括侧板和底板，底板的底面轴线上依次设有排气接口法兰、坩埚轴接口法兰和电极接口法兰；下保温桶，设于侧板的外围，所述下保温桶的外壁设有护套，所述底板的下方设有托盘。本实用新型具有拉晶效率高，使用效果好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 晶体生长 设备 | ||
【主权项】：
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