[实用新型]圆形靶材位置确认治具有效
| 申请号： | 201922352751.0 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211219500U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 董意男;常艳超;尤小磊;徐东起;丁静仁;程小明;王冬振 | 申请（专利权）人： | 爱发科电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B23P19/00 | 分类号： | B23P19/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种圆形靶材位置确认治具，包括圆形基板(1)，所述圆形基板(1)的外圆周设置有至少一圈均匀分布的多个螺纹孔(2)，任意三个螺纹孔(2)内螺纹连接有限位柱(3)，三个所述限位柱(3)的中心轴位于同一圆心上，三个所述限位柱(3)呈圆柱状结构，且每个所述限位柱(3)上设置有一圈凸缘(4)，三个所述限位柱(3)与圆形背板的外圆周相切，三个所述凸缘(4)与圆形靶材的外圆周相切，所述凸缘(4)与圆形基板(1)之间的距离为圆形背板的厚度。提高背板与靶材同心圆的贴合精度以及贴合效率。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 位置 确认 | ||
【主权项】：
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