[实用新型]一种提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置有效
| 申请号： | 201922375029.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN211142152U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 黄李平;欧阳军奇;范绪华;阮宗浩;万丹丹;陈江海;廖生;唐永琼 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 邓爱军 |
| 地址： | 518117 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置，包括与主气管一端对接连通的气管头，该主气管与气管头对接端设置有毛细气管集成孔板，主气管另一端封闭设置；主气管设置有排气孔，每一个排气孔与毛细气管集成孔板上的一个进气孔通过一根毛细气管连通；主气管包括焊接为一体的上半主气管和下半主气管。本实用新型采用集成毛细气管供气装置，提高了装饰镀膜产品整炉颜色均匀性，对于敏感性的干涉颜色，整炉颜色均匀性好，良率由85％提高到98％左右，减少了检验成本，返工成本，对于普通的颜色，减少堵气管调试的成本，大大提高开发效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 pvd 颜色 均匀 集成 气管 供气 装置 | ||
【主权项】：
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