[实用新型]一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构有效
| 申请号： | 201922395216.3 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211595785U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 盛立远 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究院 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 万永泉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构，包括基座及固定安装在所述基座上的固定组件，所述固定组件一端设置有可径向转动的转动部及用于驱动所述转动部转动的转动驱动电机，所述转动部上设有用于固定柱状件的柱状件固定装置，所述固定组件包括固定部及动力部，所述固定部与动力部相互固定。该种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构具有结构简单、实施成本低、实施难度小、加工质量高、涂层一致性高等现有技术所不具备的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柱状 表面 涂层 物理 沉积 轴向 转动 夹持 机构 | ||
【主权项】：
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