[实用新型]一种光学镀膜辅助离子源有效
| 申请号： | 201922397576.7 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211125564U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室、位于放电室外侧的磁棒及依次安装在放电室正前方的屏极、加速极及中和灯丝，放电室内安装有第一阳极筒和第二阳极筒，放电室进口端内安装有位于第一阳极筒内的阴极，进口端沿周侧设有进气口，第一阳极筒和第二阳极筒之间设有栅极，第一阳极筒和第二阳极筒的内侧表面为凹凸不平的波浪形。本实用新型提供的一种光学镀膜辅助离子源，电子束流状态佳，稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 镀膜 辅助 离子源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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