[实用新型]环境控制型原子力显微镜装置有效
申请号: | 201922405361.5 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN212008649U | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 韩雄;都有为;钱锋;王矛宏;王辰成 | 申请(专利权)人: | 苏州飞时曼精密仪器有限公司 |
主分类号: | G01Q60/24 | 分类号: | G01Q60/24;G01Q30/10 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 张川 |
地址: | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种环境控制型原子力显微镜装置,包括:底座、设置于所述底座上的内部中空的激光检测头、设置于所述激光检测头内的激光器、设置于所述底座内且上端伸入到所述激光检测头内的样品移动台以及设置在所述样品移动台内的样品扫描器;所述激光检测头和底座之间设置有第一橡胶密封圈;所述样品移动台的上部外周固接有移动滑板,所述移动滑板可相对所述底座的上盖板进行水平滑动,所述移动滑板和所述底座的上盖板之间设置有第二橡胶密封圈。本实用新型适应不同的应用需求,可以对样品的工作环境进行一定的控制,具有能够同时在普通大气环境、液体环境、温度控制环境、惰性气体控制环境下工作的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 环境 控制 原子 显微镜 装置 | ||
【主权项】:
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