[实用新型]一种高纯硅片自动清洗装置有效
| 申请号： | 201922409119.5 | 申请日： | 2019-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN211888210U | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 马瑜辉 | 申请（专利权）人： | 襄阳三圭电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;G01D21/02 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 谢洋 |
| 地址： | 441000 湖北省襄阳市高*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高纯硅片自动清洗装置，包括控制单元、清洗槽、超声波发生器，清洗槽底部固定设有换能器，超声波发生器与换能器信号连接，控制单元与超声波发生器信号连接；还包括冷水水路、热水水路，冷水水路一端、热水水路一端均连通清洗槽，其另一端分别连接冷水源、热水源；还包括排污管，排污管的开口设置在清洗槽的下部；冷水水路、热水水路、排污管中分别设有电磁阀，电磁阀与控制单元信号连接；清洗槽内设有高低液位开关，高低液位开关与控制单元信号连接；排污管中设有排污泵，排污泵由控制单元信号控制。本实用新型其能实现自动清洗，解决了人工成本高、人员劳动强度大的问题，防止超声波对人员造成伤害，清洗效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硅片 自动 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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