[实用新型]晶圆匣防脱落装置有效
| 申请号： | 201922412427.3 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211627633U | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 孙军;潘亮良 | 申请（专利权）人： | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆匣防脱落装置，属于晶圆检测技术领域，其包括晶圆匣，所述晶圆匣承放在中测台上，所述中测台一侧设置有用于承放晶圆匣的升降台，其特征在于：所述晶圆匣内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽，所述晶圆匣一侧设置有连接晶圆匣两侧内壁的连接杆，所述升降台顶壁设置有限位块，所述连接杆朝向限位块的一侧设置有对中块，所述限位块背离升降台的一侧开设有供对中块插合的对中槽，所述晶圆匣的两侧外壁均设置有与升降台连接的防脱装置。本实用新型具有在晶圆匣进行承放时不易出现脱落和倾倒的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆匣防 脱落 装置 | ||
【主权项】：
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