[实用新型]一种离子源阳极有效
申请号: | 201922415697.X | 申请日: | 2019-12-28 |
公开(公告)号: | CN211719557U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 安建昊;唐欢欢 | 申请(专利权)人: | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 225000 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种离子源阳极,包括阳极基板,阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上,阳极基板中心设置有中心电极,且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合,中心电极在阳极基板上突起,中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起。本实用新型提供一种离子源阳极,能够延长阳极板更换周期,进而降低阳极板的更换成本,省时省力。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子源 阳极 | ||
【主权项】:
暂无信息
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