[实用新型]一种蚀刻机入料冷却装置有效
| 申请号： | 201922418736.1 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN212167145U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 赖荣红;陈华坤;何胜太 | 申请（专利权）人： | 江西鸿宇电路科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/18 | 分类号： | B01F7/18;B01F15/06 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 邓澄宇 |
| 地址： | 341600 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蚀刻机入料冷却装置，涉及铝基板蚀刻技术领域，包括存储罐和冷却装置，存储罐包括内层和外层，所述内层通过隔板分隔为第一存储室和第二存储室；冷却装置包括进液环管、冷却管以及出液环管；进液环管和出液环管通过多个冷却管连通；进液环管与水泵相通；水泵与冷却液箱相连通；出液环管连接有出液管。通过使存储罐分隔为可分别存储碱性蚀刻液和酸性蚀刻液的第一存储室和第二存储室，可实现对碱性蚀刻液和酸性蚀刻液的同一装置存放；通过水泵将冷却液箱的冷却液抽入到进液环管，并依次流经进液环管、冷却管、出液环管，最终通过出液环管排出存储罐，带走存储罐中的热量，对内层的第一存储室和第二存储室中的蚀刻液冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 机入料 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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