[实用新型]一种磁场强度可调节式磁控溅射装置有效
| 申请号： | 201922420504.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211689224U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 鲍伟伟;陈磊;史永辉 | 申请（专利权）人： | 无锡广信赢科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁场强度可调节式磁控溅射装置领域，公开了一种磁场强度可调节式磁控溅射装置，包括装置主体，所述装置主体的内端刻有内螺纹，所述装置主体的内端螺纹连接有外螺纹套筒，所述装置主体的内侧设有多层胶布主体，多层所述胶布主体均位于靠近外螺纹套筒口处，相邻的两层胶布主体相粘接，最外层的胶布主体与外螺纹套筒的内壁粘接，多个所述胶布主体的下端均固定连接有内筒体，多个所述内筒体自上而下依次套接，且多个所述内筒体均位于装置主体内，一对所述伸缩杆凹槽内端设有伸缩杆，一对所述伸缩杆凹槽与伸缩杆转动连接，所述伸缩杆的两端均固定连接有限位块，所述限位块与限位腔转动连接，装置主体内便于清洁，使用更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场强度 调节 磁控溅射 装置 | ||
【主权项】：
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