[实用新型]一种硅片酸腐蚀系统

摘要

一种硅片酸腐蚀系统，涉及半导体材料生产技术领域，包括腐蚀槽，还包括恒温槽和补液槽，外部酸液通过管道分别与补液槽和恒温槽连接，补液槽和外部气体分别通过管道接入腐蚀槽，腐蚀槽上设有排液管，腐蚀槽所在位置高于恒温槽，恒温槽和腐蚀槽之间通过2根管道连通，其中一根管道上设有酸泵，另一根管道用于腐蚀槽内的酸液依靠重力流回恒温槽，恒温槽内设有热交换管，热交换管内接入外部不同温度的水与恒温槽内的酸液进行热量交换。本实用新型有益效果：对腐蚀槽的化学液温度、浓度、搅拌进行针对性的控制，从而使腐蚀过程中硅片的腐蚀速率、腐蚀均匀性、腐蚀表面粗糙度有效受控，保证腐蚀后硅片的一致性。