[实用新型]一种靶材模压成型模具

摘要

本实用新型公开了溅射靶材加工技术领域的一种靶材模压成型模具。包括：模压上模和模压下模。在下模中心位置设有凹槽，形成定位部，凹槽底部根据靶材溅射面形状设计成平面或弧面。上模根据靶材背面环形凹槽设计成环形凸起,边缘平直,保证上模凸起压入靶材背面时,靶材外缘不会翘起。上模环形凸起呈锥台型，顶端边缘加圆倒角，减小压入阻力。通过该模具模压后的靶坯，尺寸接近靶材成品要求，机加工时损耗量少，可减少原材料下料量；机加工时损耗量减少，可降低刀具磨损，刀具使用寿命延长，需要的加工时间减少，可缩短靶材加工周期，节省成本；该模具可与油压机进行匹配，对设备要求低，适用材料广泛。