[实用新型]一种高纯氯硅烷的多功能分配盘有效

专利信息
申请号: 201922450860.6 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN211262827U 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 饶平;罗全安;何寿林 申请(专利权)人: 武汉新硅科技潜江有限公司
主分类号: G01N1/10 分类号: G01N1/10;G01N33/00;B08B5/02;B08B9/032
代理公司: 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) 42228 代理人: 邓寅杰
地址: 433100 湖北省潜*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开了一种高纯氯硅烷的多功能分配盘,包括四条物料管路,产品过料管路设有产品进料阀和产品出料阀;原料过料管路设有原料进料阀和原料出料阀;分析与检测过料管路设有第一分析与检测阀和第二分析与检测阀;氮气吹扫过料管路设有第一氮气吹扫阀和第二氮气吹扫阀;四条物料管路在中间段合并为两条物料管路,两条物料管路中间设有连通管路,连通管路上设有可视流量筒,连通管路与两条物料管路的连接处两侧各设一个隔断阀。本实用新型分配盘隔绝在生产、分析检测、灌装等环节中氯硅烷与空气的接触,形成一个集中控制的气体、液体分配控制系统,方便将高纯氯硅烷在全密封的管道中,实现管道吹净、分析检测、吹扫残留液体等操作。
搜索关键词: 一种 高纯 硅烷 多功能 分配
【主权项】:
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