[实用新型]一种高纯氯硅烷的多功能分配盘有效
申请号: | 201922450860.6 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN211262827U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 饶平;罗全安;何寿林 | 申请(专利权)人: | 武汉新硅科技潜江有限公司 |
主分类号: | G01N1/10 | 分类号: | G01N1/10;G01N33/00;B08B5/02;B08B9/032 |
代理公司: | 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人: | 邓寅杰 |
地址: | 433100 湖北省潜*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种高纯氯硅烷的多功能分配盘,包括四条物料管路,产品过料管路设有产品进料阀和产品出料阀;原料过料管路设有原料进料阀和原料出料阀;分析与检测过料管路设有第一分析与检测阀和第二分析与检测阀;氮气吹扫过料管路设有第一氮气吹扫阀和第二氮气吹扫阀;四条物料管路在中间段合并为两条物料管路,两条物料管路中间设有连通管路,连通管路上设有可视流量筒,连通管路与两条物料管路的连接处两侧各设一个隔断阀。本实用新型分配盘隔绝在生产、分析检测、灌装等环节中氯硅烷与空气的接触,形成一个集中控制的气体、液体分配控制系统,方便将高纯氯硅烷在全密封的管道中,实现管道吹净、分析检测、吹扫残留液体等操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 硅烷 多功能 分配 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新硅科技潜江有限公司,未经武汉新硅科技潜江有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201922450860.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。