[实用新型]一种电热式MEMS驱动臂有效
| 申请号： | 201922458582.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211445040U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;黄兆兴;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电热式MEMS驱动臂，该电热式MEMS驱动臂一端连接衬底（1），另一端连接被驱动单元（9），该电热式MEMS驱动臂包括第一结构层（6）和第二结构层（7），其特征在于还包括在第二结构层（7）的部分或整体进行掺杂形成的加热电阻层（4）。优点：本发明创造的发明点在于硅既作为结构层的同时，由作为加热电阻层，免除了还要做加热电阻层的麻烦，采用离子注入的方法制作加热电阻层，简化了电热式MEMS驱动臂的加热电阻层的工艺步骤，提供了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电热 mems 驱动 | ||
【主权项】：
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