[实用新型]蚀刻箱进出料结构有效
申请号: | 201922460839.4 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211522322U | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 陈斌;卢耀普;黄治国;卢振华;刘国强 | 申请(专利权)人: | 悦虎晶芯电路(苏州)股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 李凤娇 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蚀刻箱进出料结构,包括蚀刻箱,所述蚀刻箱内设置有电路板和蚀刻液,所述蚀刻箱的侧壁上设置有进液口、进气口、出液口和出气口,所述进液口与出液口设置于所述蚀刻箱的相对两侧,所述进气口设置于所述进液口的上方,所述出气口设置于所述出液口的上方。本实用新型在完成蚀刻工序进出料的同时,利用进出液和进出气自然形成的液体流动冲刷电路板,确保了蚀刻的均匀,相较于现有技术,无需晃动蚀刻箱体,结构更加简洁且能耗更低。 | ||
搜索关键词: | 蚀刻 进出 结构 | ||
【主权项】:
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