[实用新型]一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统

摘要

本实用新型公开了一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统，包括第一到六管道；其中第一到三管道平行设置，进气口连接供气瓶，并在管道上依次设置有进气阀、减压阀、进气阀、气体流量计；第四管道进气口连接供气瓶，近供气瓶的管道上设置有减压阀，出减压阀的管道分为两根支管，支管上设置有进气阀；其中，一根支管末端连通到第二管道进气阀和减压阀之间的管道，另一根连通到第三管道进气阀和减压阀之间的管道；第五管道设置有排气阀并连通到第三管道减压阀和进气阀之间的管道。本装置在反应前能够有效排除杂质气体，在反应结束后能够彻底排除残留气体，提高反应准确性，降低安全隐患，提高零件工作寿命。