[实用新型]膜厚自动控制镀膜机有效
| 申请号： | 201922487201.X | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211570764U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 孙桂红;黄乐;黄国兴;祝海生;陈立;金诚明;唐洪波;唐莲;寇立;杨恒 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 周琼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜厚自动控制镀膜机，所述镀膜机包括壳体、工作架、驱动机构、溅射镀膜机构，以及至少一个膜厚监测机构，所述工作架设有基片载体，所述工作架通过驱动机构驱动相对壳体旋转，所述工作架绕第一转轴转动；所述溅射镀膜机构和基片载体设于壳体内部，所述膜厚监测机构设有膜厚控制仪、膜厚传感器和振荡器，所述膜厚控制仪设于镀膜机的电气控制柜，所述膜厚传感器安装于基片载体上，所述振荡器安装于工作架上。本实用新型提供膜厚自动控制镀膜机，结构简洁、布设规律，膜厚检测精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 自动控制 镀膜 | ||
【主权项】：
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