[实用新型]旋转夹具及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201922501838.X | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211471542U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;吴秋生 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种旋转夹具，用于真空镀膜设备，包括夹具盘、固定螺丝、悬挂活动球以及支撑座；其中，所述夹具盘的中心开设有一贯穿的吊挂通孔，所述支撑座为中空设计；所述支撑座嵌入夹具中心的吊挂通孔内，固定所述夹具盘；所述悬挂活动球开设有一中心通孔；所述固定螺丝穿过将该中心通孔将悬挂活动球固定在主轴的底部；所述支撑座顶部的内径小于所述悬挂活动球的外径，支撑座顶部以活动形式卡扣在活动球上，使得所述夹具盘以活动形式吊挂在主轴底部上；所述主轴转动时通过悬挂活动球与支撑座接触并传递动力，带动所述夹具盘旋转。本申请还提供一种真空镀膜设备，在真空镀膜中，夹具盘可以达到更好的动平衡效果，从而大幅度提升了镀膜效果。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 夹具 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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