[发明专利]电容器结构及其形成方法有效
| 申请号： | 201980000366.X | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN110622305B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈亮;甘程;吴昕;刘威 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/08;H01L21/762 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 林锦辉 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种电容器。所述电容器包括具有相对的第一主表面和第二主表面的衬底。所述电容器还包括形成于所述衬底中并且从所述衬底的所述第一主表面延伸至所述第二主表面的至少两个导电板。所述电容器还包括形成于所述至少两个导电板中的两个相邻导电板之间并且从所述第一主表面延伸至所述第二主表面的至少一个绝缘结构。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电容器，包括：/n衬底，所述衬底具有相对的第一主表面和第二主表面；/n至少两个导电板，所述至少两个导电板形成于所述衬底中并且从所述衬底的所述第一主表面延伸至所述第二主表面；以及/n至少一个绝缘结构，所述至少一个绝缘结构形成于所述至少两个导电板中的两个相邻导电板之间并且从所述第一主表面延伸至所述第二主表面。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980000366.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
