[发明专利]干膜光阻剥离液组合物在审
| 申请号： | 201980001421.7 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN110622071A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 崔好星;金圭祥;裵钟一;李钟淳;河相求;梁允模 | 申请（专利权）人： | LTC有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D11/00;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50 |
| 代理公司： | 11138 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 关越 |
| 地址： | 韩国京畿道安养市*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明是形成微电路的PCB的制造用,尤其是可用于多层挠性PCB(Flexible Multi‑layer Printed Circuit Board)制造工程的干膜光阻剥离液组合物相关的发明。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离液组合物 干膜光阻 微电路 多层 可用 挠性 制造 | ||
【主权项】：
1.一种干膜光阻剥离液组合物，其特征在于，包含由四甲基氢氧化铵(Tetramethylammonium hydroxide,TMAH)、五氟合氙酸四甲基铵(Tetramethylammoniumpentafluoroxenate,TMAPF)及由此混合物构成的群中选择的四级铵盐水溶液10～30重量％、烷醇胺系化合物30～60重量％、极性含质子的有机溶剂10～30重量％及包含硫的唑类化合物0.1～5重量％的组合物。/n
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