[发明专利]掩模装置、掩模板及框架有效
| 申请号： | 201980002303.8 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN113423856B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 白珊珊;韩乔楠;李彦松 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种掩模装置(10)、掩模板(1)和框架(2)。掩模装置包括框架和第一掩模板，框架包括内边缘(21)、外边缘(22)和多个安装槽(23)，第一掩模板包括基板(11)和从基板的周边向外凸出延伸的多个夹持部(13)，多个夹持部被配置为一一对应地安装在多个安装槽中，从而基板安装在框架的内边缘上。夹持部包括与基板连接的第一部分(131)，第一部分具有弧形部(1310)，弧形部在基板的侧面(110)上的正投影位于夹持部整体在基板的侧面上的正投影内。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 模板 框架 | ||
【主权项】：
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