[发明专利]用于三维存储器的单元电流测量有效
| 申请号： | 201980002470.2 | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN110892274B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 吴振勇;金允哲;梅文龙 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G11C29/50;G11C29/56 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 林锦辉;刘景峰 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种用于测量三维存储器的存储单元电流的方法包括将第一测试电压施加到3D存储器件的外围电路的源极线焊盘，其中所述源极线焊盘电连接至3D存储器件的3D存储阵列的公共源极线，并且形成于第一衬底上的所述外围电路和形成于第二衬底上的所述3D存储阵列通过直接键合来电连接。所述方法还包括将第二测试电压施加至3D存储阵列的位线焊盘，其中所述位线焊盘和3D存储阵列形成在第二衬底的相对侧上。在一些实施例中，所述方法包括将第二测试电压施加至电源焊盘，其中电源焊盘电连接至外围电路的页缓冲器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 三维 存储器 单元 电流 测量 | ||
【主权项】：
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