[发明专利]压力传感器和压力传感器的制造方法有效
申请号: | 201980002648.3 | 申请日: | 2019-03-26 |
公开(公告)号: | CN110709680B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 丰岛良一 | 申请(专利权)人: | 日本梅克特隆株式会社 |
主分类号: | G01L1/20 | 分类号: | G01L1/20;G01L5/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李成必;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供适合测量宽广范围的压力且具有较小的设置面积的压力传感器。所述压力传感器包括:多个传感器器件(U1)、(U2),具有电极(19a、19b)和与所述电极(19a、19b)相对配置的导电膜(15),且相对于电极(19a)、(19b)重叠在导电膜(15)的配置方向上;以及具有向所述多个传感器器件(U1)、(U2)输入电信号的通用的输入布线(21)和从多个传感器器件输出电信号的通用的输出布线(22)的布线板(10)。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种压力传感器,其特征在于,/n包括多个传感器器件和布线板,/n所述多个传感器器件分别包括电极和与所述电极相对配置的导电膜,/n所述多个传感器器件重叠在相对于所述电极配置有所述导电膜的方向上,/n所述布线板包括向所述多个传感器器件输入电信号的共通的输入布线、以及从所述多个传感器器件输出电信号的共通的输出布线。/n
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