[发明专利]保持装置及保持装置的制造方法有效
| 申请号： | 201980007168.6 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN111527790B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 坂卷龙之介;高冈胜哉;渡边洋史 | 申请（专利权）人： | 日本特殊陶业株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H01L21/683;H05B3/10;H05B3/74 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 任天诺;高培培 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种保持装置及保持装置的制造方法，该保持装置抑制由供电连接构件的电阻值的偏差引起的发热电阻器的发热量的偏差。保持装置具备：陶瓷构件，由以氮化铝为主要成分的陶瓷烧结体形成；金属制的发热电阻器，配置于陶瓷构件的内部；与发热电阻器接触的导电性的供电连接构；及与供电连接构件电连接的导电性的供电端子，该保持装置是将对象物保持在陶瓷构件的表面上的装置。供电连接构件的表面中除了与发热电阻器的接触面及与供电端子的连接面以外的表面的至少一部分被由氮化物形成的涂层覆盖，该氮化物含有Al、Ti、Zr、V、Ta和Nb中的至少1种。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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