[发明专利]MEMS致动系统有效
| 申请号： | 201980007529.7 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN111656240B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 王桂芹;刘晓蕾;马修·恩格 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/04 | 分类号： | G02B7/04;G02B7/09;H01L41/09;G03B30/00 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;韩威威 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。该平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。 | ||
| 搜索关键词： | mems 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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