[发明专利]用于改善自由基浓度的侧面注入设计有效
| 申请号： | 201980009302.6 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111819656B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 庄野贤一;维希瓦·库马尔·帕迪;克里斯托弗·S·奥尔森;汉瑟·劳;阿古斯·索菲安·查德拉;泰万·基姆;托宾·卡芙曼·奥斯本 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一个实例中，腔室入口组件包括腔室入口、用于输送管线的外部耦接件以及用于处理腔室的处理区域的内部耦接件。内部耦接件和外部耦接件分别在腔室入口的内端和外端上，其中内部耦接件的横截面面积大于外部耦接件的横截面面积。腔室入口组件还包括纵向剖面，该纵向剖面包含内端和外端以及第一边和第二边，第一边和第二边位于腔室入口的相对侧，其中纵向剖面的形状包括以下各者中的至少一个：三角形、修改式三角形、梯形、修改式梯形、矩形、修改式矩形、菱形和修改式菱形。腔室入口组件还包括盒，该盒包含腔室入口并经配置以设置到处理腔室的侧壁中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 改善 自由基 浓度 侧面 注入 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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