[发明专利]加工装置有效
| 申请号： | 201980010433.6 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN111655420B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 奈良康永 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/00;B23K26/064;B23K26/067;H01L21/301;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;尹明花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的加工装置在加工对象物中形成构成改质区域的改质点。本发明的加工装置具备：第一照射部，其向加工对象物照射第一光，在加工对象物的一部分区域使吸收率比第一光的照射之前暂时地上升；及第二照射部，在一部分区域的吸收率暂时地上升的吸收率上升期间，向该一部分区域照射第二光。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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