[发明专利]试样支撑体、电离法以及质量分析方法在审
申请号: | 201980011586.2 | 申请日: | 2019-01-16 |
公开(公告)号: | CN111684275A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 小谷政弘;大村孝幸 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;G01N27/64;H01J49/04;H01J49/16 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;尹明花 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 试样支撑体(1)是用于电离试样的试样支撑体。试样支撑体具备:具有彼此相对的第一表面(2a)和第二表面(2b)的基板(2)、和至少设置于第一表面的导电层(4)。在基板中的用于使试样的成分电离的实效区域(R),形成有在第一表面和第二表面开口的多个贯通孔(20),在多个贯通孔的各个中,第二表面侧的第二开口部(20b)的宽度比第一表面侧的第一开口部(20a)的宽度大。 | ||
搜索关键词: | 试样 支撑 电离 以及 质量 分析 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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