[发明专利]等离子体处理装置、等离子体状态检测方法以及等离子体状态检测程序有效
| 申请号： | 201980013656.8 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111801990B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 林大辅;梅泽义弘;冈信介 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H01L21/3065;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体处理装置、等离子体状态检测方法以及等离子体状态检测程序。测量部通过加热器控制部来控制向加热器供给的供给电力以使加热器的温度固定，测量等离子体没有点火的未点火状态和从点火等离子体起向加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力。参数计算部使用由测量部测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算模型进行拟合，来计算来自等离子体的热输入量，该计算模型包括该热输入量作为参数来计算过渡状态的供给电力。输出部输出基于由参数计算部计算出的热输入量的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 状态 检测 方法 以及 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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