[发明专利]相位差控制装置有效
| 申请号： | 201980014264.3 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN111742202B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 三好有一 | 申请（专利权）人： | 日本分光株式会社 |
| 主分类号： | G01J4/04 | 分类号： | G01J4/04;G01N21/19;G02B27/28;G02F1/01;G05D25/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能够在CD光谱仪中利用的相位差控制装置的响应性改善技术。相位差控制装置具备：分割偏振器(14)，其将来自光源(12)的光分割成直线偏振的测定光和直线偏振的参照光；PEM(16)，其以与分光测定相对应的方式对测定光和参照光赋予相位差；PEM驱动器(18)，其向PEM(16)供给调制电压；PEM控制电路(24)，其输入参照光作为反馈信号，并且向PEM驱动器(18)输出调制控制量信号，相位差控制装置还具备CPU电路(26)，该CPU电路监视分割偏振器(14)的光的波长，并输入波长变化作为波长信号，CPU电路(26)将波长信号变换成前馈信号，前馈信号被输出到PEM控制电路(24)，PEM控制电路(24)进行基于反馈信号和前馈信号的运算处理，来向PEM驱动器(18)输出调制控制量信号。 | ||
| 搜索关键词： | 相位差 控制 装置 | ||
【主权项】：
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