[发明专利]膜的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及膜形成用组合物在审
| 申请号： | 201980014436.7 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN111819306A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 泽野充;福原庆;增田诚也;岛田和人 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;B05C5/02;B05D1/26;B05D3/00;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/037;G03F7/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜的制造方法，其包括使用组合物在部件上进行狭缝涂布的工序，上述部件至少在其一部分包含金属，上述组合物包含：聚酰亚胺前体；在23℃下对聚酰亚胺前体的溶解度不同的至少2种溶剂；及选自由表面活性剂及增塑剂组成的组中的至少一种。本发明还涉及与该膜的制造方法相关的层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及膜形成用组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 层叠 半导体器件 形成 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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