[发明专利]固态摄像装置和固态摄像器件

摘要

本发明旨在防止尤其在如下情况下在固态摄像器件的层结构的各层之间的界面处发生剥离：在固态摄像器件上隔着支撑部设置有透光构件，且在固态摄像器件与透光构件之间形成有空腔，在这种构造中，由于空腔内的压力的增大而产生了应力。本发明包括：固态摄像器件，它的光接收侧对应于半导体基板的一个板面侧；透光构件，其设置在固态摄像器件的光接收侧且与固态摄像器件相隔预定间隔；以及支撑部，其在固态摄像器件与透光构件之间形成了空腔。固态摄像器件具有设置在半导体基板的光接收侧的层结构，其包括：第一层；与第一层材料不同的第二层；与第一层材料不同且形成在第二层内的第三层。第三层至少在沿着半导体基板的板面的平面方向上在形成有支撑部的区域中具有凹凸形状部，该凹凸形状部以凹凸形状形成第二层与第三层之间的界面。