[发明专利]接合体和弹性波元件有效

专利信息
申请号: 201980016922.2 申请日: 2019-03-14
公开(公告)号: CN111937306B 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 后藤万佐司;鹈野雄大;多井知义 申请(专利权)人: 日本碍子株式会社
主分类号: H03H9/25 分类号: H03H9/25
代理公司: 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 代理人: 王轶;郑雪娜
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提高由多晶陶瓷材料或单晶材料形成的支撑基板与压电性单晶基板的接合强度,并且提高Q值。接合体(5、5A)具备:支撑基板(1)、压电性单晶基板(4、4A)、以及设置在支撑基板(1)与压电性单晶基板(4、4A)之间的接合层(2A)。接合层(2A)具有Si(1‑x)Ox(x为氧比率)的组成。接合层(2A)的厚度方向的中央部处的氧比率x高于:接合层(2A)的压电性单晶基板(4、4A)侧的端部处的氧比率x以及接合层(2A)的支撑基板(1)侧的端部处的氧比率x。接合层(2A)的厚度方向的中央部处的氧比率x为0.013以上0.666以下。
搜索关键词: 接合 弹性 元件
【主权项】:
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