[发明专利]训练用于低分辨率图像中的缺陷检测的神经网络

摘要

本发明提供用于训练用于低分辨率图像中的缺陷检测的神经网络的方法及系统。一个系统包含：检验工具，其包含高分辨率成像子系统及低分辨率成像子系统；及一或多个组件，其包含高分辨率神经网络及低分辨率神经网络。所述系统的计算机子系统经配置用于产生缺陷图像的训练集。所述缺陷图像中的至少一者由所述高分辨率神经网络使用由所述高分辨率成像子系统产生的图像合成地产生。所述计算机子系统还经配置用于使用缺陷图像的所述训练集作为输入而训练所述低分辨率神经网络。另外，所述计算机子系统经配置用于通过将由所述低分辨率成像子系统针对另一样品产生的所述图像输入到所述经训练低分辨率神经网络中而检测所述另一样品上的缺陷。