[发明专利]一种蒸镀掩模及其制造方法有效
| 申请号： | 201980019365.X | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111886357B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 川崎博司;小幡胜也;曾根康子;广部吉纪 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀掩模，其在树脂掩模(20)上设置有金属层(10)，其中，上述树脂掩模(20)具有为了形成蒸镀图案所必要的开口部(25)，树脂掩模(20)含有树脂材料，金属层(10)含有金属材料，将树脂材料的玻璃化转变温度(Tg)加上100℃而得到的温度设为上限温度时，在以线性膨胀的比例为纵轴、以温度为横轴的线性膨胀曲线中，用树脂掩模(20)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值除以金属层(10)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值而得到的值在0.55以上且1.45以下的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀掩模 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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