[发明专利]复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法有效
| 申请号： | 201980019370.0 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN111886213B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 日高宣浩;木村直人 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/117 | 分类号： | C04B35/117;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的复合烧结体为含有作为主相的金属氧化物和作为副相的碳化硅的陶瓷复合烧结体，所述碳化硅的晶粒分散在所述金属氧化物的晶粒内及所述金属氧化物的晶界上，分散在所述金属氧化物的晶界上的所述碳化硅的平均晶体粒径为0.30μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 烧结 静电 卡盘 部件 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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