[发明专利]粘着胶带及半导体装置的制造方法在审
申请号: | 201980020566.1 | 申请日: | 2019-03-14 |
公开(公告)号: | CN111868193A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 小升雄一朗;前田淳;西田卓生 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
主分类号: | C09J7/38 | 分类号: | C09J7/38;C09J201/00;H01L21/301;H01L21/304 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;刘言 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
作为技术问题,本发明的目的在于,特别是在采用预切割法而制造微小的半导体芯片时,减少将芯片21从背磨胶带10转印至拾取胶带30或粘合胶带的转印不良。此外,本发明的目的在于,改善将芯片从背磨胶带10转印至拾取胶带30或粘合胶带的转印效率。作为解决手段,本发明提供一种粘着胶带10,所述粘着胶带10的特征在于,其优选被用作为上述背磨胶带,其包含基材11与设置在该基材11的一面的粘着剂层12,所述粘着剂层12由能量射线固化性粘着剂构成,照射能量射线而固化后的粘着剂的200℃下的储能模量E’ |
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搜索关键词: | 粘着 胶带 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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