[发明专利]粘着胶带及半导体装置的制造方法在审

专利信息
申请号: 201980020566.1 申请日: 2019-03-14
公开(公告)号: CN111868193A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 小升雄一朗;前田淳;西田卓生 申请(专利权)人: 琳得科株式会社
主分类号: C09J7/38 分类号: C09J7/38;C09J201/00;H01L21/301;H01L21/304
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 张晶;刘言
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 作为技术问题,本发明的目的在于,特别是在采用预切割法而制造微小的半导体芯片时,减少将芯片21从背磨胶带10转印至拾取胶带30或粘合胶带的转印不良。此外,本发明的目的在于,改善将芯片从背磨胶带10转印至拾取胶带30或粘合胶带的转印效率。作为解决手段,本发明提供一种粘着胶带10,所述粘着胶带10的特征在于,其优选被用作为上述背磨胶带,其包含基材11与设置在该基材11的一面的粘着剂层12,所述粘着剂层12由能量射线固化性粘着剂构成,照射能量射线而固化后的粘着剂的200℃下的储能模量E’200为1.5MPa以上。
搜索关键词: 粘着 胶带 半导体 装置 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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