[发明专利]正色调可光图案化有机硅在审
| 申请号： | 201980022065.7 | 申请日： | 2019-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112292638A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 刘立志;傅鹏飞 | 申请（专利权）人： | 美国陶氏有机硅公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉;张佳鑫 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于制备图案化有机硅层的方法；所述方法包括如下步骤：(a)在基底上沉积包含如下物质的组合物以形成未固化树脂：(i)包含烯基基团的聚硅氧烷，(ii)包含硅‑氢键的硅烷交联剂，(iii)氢化硅烷化催化剂，以及(iv)光潜胺生成剂；(b)通过掩模将所述未固化树脂暴露于紫外光或电子束辐照以制备图案化树脂；(c)加热所述图案化树脂；以及(e)移除所述图案化树脂的未固化部分的至少一部分以制备最终图案化有机硅层。 | ||
| 搜索关键词： | 色调 图案 有机硅 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美国陶氏有机硅公司，未经美国陶氏有机硅公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980022065.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
