[发明专利]陶瓷基体及基座有效
申请号: | 201980022301.5 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN111918854B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 小坂井守;日高宣浩;木村直人;钉本弘训 | 申请(专利权)人: | 住友大阪水泥股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/117 | 分类号: | C04B35/117;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683;H02N13/00 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 杨楷;毛立群 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的陶瓷基体以含有碳化硅粒子的电介质材料为形成材料,基体的表面上的每单位面积的碳化硅粒子的个数少于基体的截面上的每单位面积的碳化硅粒子的个数。 | ||
搜索关键词: | 陶瓷 基体 基座 | ||
【主权项】:
暂无信息
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