[发明专利]接触光子集成电路的光电电路板在审
申请号: | 201980022556.1 | 申请日: | 2019-04-08 |
公开(公告)号: | CN111919124A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | P.许布纳;S.里克特 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
主分类号: | G01R1/07 | 分类号: | G01R1/07 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明基于实现光子集成电路(901)的简单且可靠的接触的目的。这通过使用可提供探针卡功能的光电电路板(300)成为可能。该光电电路板(300)包含至少一个导电体线路(381、385、386、387)和至少一个光束路径(371)。 | ||
搜索关键词: | 接触 光子 集成电路 光电 电路板 | ||
【主权项】:
暂无信息
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