[发明专利]接触光子集成电路的光电电路板在审

专利信息
申请号: 201980022556.1 申请日: 2019-04-08
公开(公告)号: CN111919124A 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: P.许布纳;S.里克特 申请(专利权)人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
主分类号: G01R1/07 分类号: G01R1/07
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王蕊瑞
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明基于实现光子集成电路(901)的简单且可靠的接触的目的。这通过使用可提供探针卡功能的光电电路板(300)成为可能。该光电电路板(300)包含至少一个导电体线路(381、385、386、387)和至少一个光束路径(371)。
搜索关键词: 接触 光子 集成电路 光电 电路板
【主权项】:
暂无信息
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