[发明专利]一种生成校正线的方法和装置以及计算机可读记录介质有效
| 申请号： | 201980022609.X | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111919087B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 金子功次 | 申请（专利权）人： | 塔斯米特株式会社 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04;G01N23/2251;G06T7/00;G06T7/13;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 日本神奈川县横浜*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本方法是一种生成表示晶片图案的边缘与基准图案的边缘的偏离量和与所述基准图案的边缘邻接的空间的宽度的关系的校正线的方法，包括如下工序：制作与处于所指定的区域内的基准图案邻接的空间的宽度的出现频率图，获取与在所述出现频率图中示出的多个空间宽度对应的晶片图案的图像，计算所述图像上的所述晶片图案的边缘与对应的基准图案的边缘的偏离量，将根据所述多个空间宽度与所述边缘的偏离量而确定的多个数据点标绘在坐标系上，根据所述坐标系上的所述多个数据点而生成所述校正线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生成 校正 方法 装置 以及 计算机 可读 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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